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為保真空設(shè)備或系統(tǒng)具有良好的密封性能，僅僅在設(shè)備安裝完畢后去尋求漏孔的位置，堵塞漏孔的通道是遠遠不夠的。有必要在真空設(shè)備或系統(tǒng)的設(shè)計、制造、調(diào)試、使用各個有關(guān)環(huán)節(jié)中隨時進行真空檢漏工作。一、真空設(shè)備設(shè)計中的注意事項：1、根據(jù)設(shè)備的工藝要求，確定真空設(shè)備的總的較大允許漏率，并依據(jù)這一總漏率確定各組成部件的較大允許漏率。2、根據(jù)設(shè)備的較大允許漏率等指標，在設(shè)計階段便初步確定將要采用的檢漏方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試驗收的基本原則之一。3、根據(jù)設(shè)備或部件的較大允許漏率指標，決定設(shè)備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。4、容器結(jié)構(gòu)強度設(shè)計時，考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應(yīng)具有的耐壓能力和結(jié)構(gòu)強度。5、選擇零部件結(jié)構(gòu)材料時，考慮是否使用了可能被工作介質(zhì)和示漏氣體腐蝕而導(dǎo)致?lián)p壞的材料。6、結(jié)構(gòu)設(shè)計時，在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設(shè)備組裝、調(diào)試過程中檢漏使用。尤其是大型、復(fù)雜的管路系統(tǒng)，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設(shè)置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預(yù)留檢漏儀器接口。7、零件結(jié)構(gòu)設(shè)計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設(shè)計方案。例如在真空室內(nèi)螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘后螺孔內(nèi)部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。從而延長系統(tǒng)抽氣時間，干擾檢漏正常進行。如圖真空檢漏中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。8、與此類似，結(jié)構(gòu)設(shè)計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因為這會在中間形成“寄生積”內(nèi)的氣體會形成虛漏；而當內(nèi)、外雙側(cè)焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時間過長，無法正常檢漏。9、焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。