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檢漏設(shè)備中氦質(zhì)譜檢漏儀的幾種撿漏方式
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1、背壓法——測總漏率


電子元器件進(jìn)行氣密性檢測時常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中,再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上,對檢漏罐抽真空,實施檢漏。若器件有漏,則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進(jìn)入檢漏罐,zui終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。


2、輔助真空系統(tǒng)


對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件,若直接與檢漏儀相連,檢漏儀的真空度可能抽不上去,使檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng),提高對被檢件的抽速。較簡單的輔助真空系統(tǒng)只需一個機械泵和兩個閥門,復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵,前級系zui好用氣鎮(zhèn)式機械泵。


3、吸槍法


被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦,檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體采集器。當(dāng)試件有漏時,泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀,而被檢測。吸槍在試件表面移動,同時注視檢漏儀漏率指示的變化,一旦泄漏增加,吸槍所指位置即漏點所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。


4、鐘罩法——測總漏率


將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空,在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器,如被檢件有漏孔,氦氣便由漏孔進(jìn)入被檢件,zui終達(dá)到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率,不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準(zhǔn)確位置??梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。


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