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在設(shè)備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時(shí)地對(duì)半成品零部件進(jìn)行檢漏。對(duì)于制造完畢后無(wú)法接觸、檢漏或修補(bǔ)的部件，焊縫質(zhì)量要嚴(yán)格檢漏，不合格的及時(shí)重焊、補(bǔ)焊并重新檢漏，符合要求后才可以進(jìn)行下一道工序。特別是對(duì)于大容器的組焊、加工，中間過(guò)程的檢漏十分關(guān)鍵，必要時(shí)應(yīng)該設(shè)計(jì)、制造專(zhuān)門(mén)的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對(duì)于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，首先組焊完內(nèi)層室壁并檢漏，確認(rèn)沒(méi)有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對(duì)于室壁外側(cè)有保溫層等不易拆卸結(jié)構(gòu)的情況，必須首先對(duì)室壁做嚴(yán)格檢漏，然后才能包覆外層結(jié)構(gòu)。在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應(yīng)采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經(jīng)焊后加工的法蘭，即便在安裝調(diào)試階段可能滿足了密封要求，但在設(shè)備使用過(guò)程中，受熱、振動(dòng)等因素也可能誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，從而導(dǎo)致法蘭變形和密封性能下降。