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真空檢漏方法種類繁多，整體步驟上卻都大同小異。本文將介紹真空離子鍍膜設(shè)備如何檢漏。除特殊情況外，一般真空設(shè)備檢漏步驟如下：1、了解被檢設(shè)備零部件和整個設(shè)備的結(jié)構(gòu)與材料設(shè)備、設(shè)備加工水平和工藝及其整機(jī)裝配的過程、需要檢漏的地方、用戶使用要求、分布漏量和總漏量的標(biāo)準(zhǔn)是多少、是否有死空間、有無易漏材料、是否使用了容易出現(xiàn)漏孔的制造工藝等。2、根據(jù)所了解到的較大允許漏率標(biāo)準(zhǔn)以及是否需要找出漏孔的具體位置的不同需求，結(jié)合經(jīng)濟(jì)、快速、可靠等原則，對檢漏裝置、方法以及必要的輔助設(shè)備進(jìn)行選擇，并擬定一套真空檢漏程序。3、對被檢真空設(shè)備零部件做清潔處理。去焊渣和油垢，然后進(jìn)行清潔處理。清洗后要將被檢真空設(shè)備零部件烘干，對于有著較高要求的小型零部件，要在進(jìn)行清洗過后，再進(jìn)行烘烤處理。4、對真空鍍膜設(shè)備采用的檢漏方法和檢漏設(shè)備做檢漏靈敏度的校準(zhǔn)，并將檢漏裝置的反應(yīng)時間進(jìn)行確定。5、在真空檢漏法的情況下，為使檢漏裝置的檢漏靈敏度提高，需盡量將被檢設(shè)備零部件抽至較高真空度，而且，在有必要時，可進(jìn)行烘烤除氣處理。6、由于氦質(zhì)譜檢漏法所采用的設(shè)備、氦氣價位都較高，因此，盡可能采用較為經(jīng)濟(jì)的其它檢漏方法或裝置。7、在離子鍍膜機(jī)采用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏的情況下，對設(shè)備中的一些檢漏靈敏度要求不高的或有大漏孔的待檢零部件，可在檢漏初期用低濃度的氦氣進(jìn)行初步檢漏，以節(jié)省氦氣的使用。8、補(bǔ)修已檢出的大漏洞之后，再檢查設(shè)備小漏孔。9、凡是真空離子鍍膜設(shè)備檢出的漏孔，都要經(jīng)過復(fù)檢。